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Fórmula Profundidade de foco

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LaTeX cópia de

A profundidade de foco é um parâmetro crítico que influencia a tolerância a variações na altura do wafer semicondutor. Verifique FAQs

DOF = k 2 \cdot \frac{λ l}{{NA}^{2}}

DOF - Profundidade de foco?k₂ - Fator de Proporcionalidade?λ_l - Comprimento de onda em fotolitografia?NA - Abertura numerica?

Exemplo de Profundidade de foco

Com valores

Com unidades

Apenas exemplo

Esta é a aparência da equação Profundidade de foco com valores.

Esta é a aparência da equação Profundidade de foco com unidades.

Esta é a aparência da equação Profundidade de foco.

1.3013 = 3 \cdot \frac{223}{{0.717}^{2}}

1.3013μm = 3 \cdot \frac{223nm}{{0.717}^{2}}

1.3013 = 3 \cdot \frac{223}{{0.717}^{2}}

Dica: Use o ícone de lápis ( Pencil

) acima para editar valores de entrada e unidades.

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Profundidade de foco Solução

Siga nossa solução passo a passo sobre como calcular Profundidade de foco?

Primeiro passo Considere a fórmula

DOF = k 2 \cdot \frac{λ l}{{NA}^{2}}

Próxima Etapa Substituir valores de variáveis

∴

DOF = 3 \cdot \frac{223nm}{{0.717}^{2}}

Próxima Etapa Converter unidades

∴

DOF = 3 \cdot \frac{2.2E-7m}{{0.717}^{2}}

Próxima Etapa Prepare-se para avaliar

∴

DOF = 3 \cdot \frac{2.2E-7}{{0.717}^{2}}

Próxima Etapa Avalie

∴

DOF = 1.30133109247621E-06m

Próxima Etapa Converter para unidade de saída

∴

DOF = 1.30133109247621μm

Último passo Resposta de arredondamento

∴

DOF = 1.3013μm

Profundidade de foco Fórmula Elementos

Variáveis

Profundidade de foco

A profundidade de foco é um parâmetro crítico que influencia a tolerância a variações na altura do wafer semicondutor.

Símbolo: DOF

Medição: Comprimento de ondaUnidade: μm

Observação: O valor deve ser maior que 0.

Fórmulas para encontrar Profundidade de foco

Fator de Proporcionalidade

O Fator de Proporcionalidade é uma constante que relaciona dois parâmetros fundamentais: a dimensão crítica (CD) e a dose de exposição.

Símbolo: k₂

Medição: NAUnidade: Unitless

Observação: O valor deve ser maior que 0.

Fórmulas para encontrar Fator de Proporcionalidade

Comprimento de onda em fotolitografia

Comprimento de onda em fotolitografia refere-se à faixa específica de radiação eletromagnética empregada para padronizar wafers semicondutores durante o processo de fabricação de semicondutores.

Símbolo: λ_l

Medição: Comprimento de ondaUnidade: nm

Observação: O valor deve ser maior que 0.

Fórmulas para encontrar Comprimento de onda em fotolitografia

Abertura numerica

A abertura numérica de um sistema óptico é um parâmetro usado em óptica para descrever a capacidade de um sistema óptico. No contexto da fabricação de semicondutores e fotolitografia.

Símbolo: NA

Medição: NAUnidade: Unitless

Observação: O valor deve ser maior que 0.

Fórmulas para encontrar Abertura numerica

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Como avaliar Profundidade de foco?

O avaliador Profundidade de foco usa Depth of Focus = Fator de Proporcionalidade*Comprimento de onda em fotolitografia/(Abertura numerica^2) para avaliar Profundidade de foco, A Profundidade de Foco é definida como um parâmetro crítico que influencia a tolerância a variações na altura do wafer semicondutor. É a faixa de distâncias na frente e atrás do plano focal onde os objetos aparecem suficientemente nítidos em uma imagem. Profundidade de foco é denotado pelo símbolo DOF.

Como avaliar Profundidade de foco usando este avaliador online? Para usar este avaliador online para Profundidade de foco, insira Fator de Proporcionalidade (k₂), Comprimento de onda em fotolitografia (λ_l) & Abertura numerica (NA) e clique no botão calcular.

FAQs sobre Profundidade de foco

Qual é a fórmula para encontrar Profundidade de foco?

A fórmula de Profundidade de foco é expressa como Depth of Focus = Fator de Proporcionalidade*Comprimento de onda em fotolitografia/(Abertura numerica^2). Aqui está um exemplo: 1.3E+12 = 3*2.23E-07/(0.717^2).

Como calcular Profundidade de foco?

Com Fator de Proporcionalidade (k₂), Comprimento de onda em fotolitografia (λ_l) & Abertura numerica (NA) podemos encontrar Profundidade de foco usando a fórmula - Depth of Focus = Fator de Proporcionalidade*Comprimento de onda em fotolitografia/(Abertura numerica^2).

O Profundidade de foco pode ser negativo?

Não, o Profundidade de foco, medido em Comprimento de onda não pode ser negativo.

Qual unidade é usada para medir Profundidade de foco?

Profundidade de foco geralmente é medido usando Micrômetro[μm] para Comprimento de onda. Metro[μm], Megametro[μm], Quilômetro[μm] são as poucas outras unidades nas quais Profundidade de foco pode ser medido.

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