De beoordelaar van Diepte van focus gebruikt Depth of Focus = Evenredigheidsfactor*Golflengte in fotolithografie/(Numeriek diafragma^2) om de Diepte van focus, De scherptediepte wordt gedefinieerd als een kritische parameter die de tolerantie voor variaties in de hoogte van de halfgeleiderwafel beïnvloedt. Het is het bereik van afstanden voor en achter het brandpuntsvlak waarop objecten in een afbeelding voldoende scherp lijken, te evalueren. Diepte van focus wordt aangegeven met het symbool DOF.
Hoe kan ik Diepte van focus evalueren met behulp van deze online beoordelaar? Om deze online evaluator voor Diepte van focus te gebruiken, voert u Evenredigheidsfactor (k2), Golflengte in fotolithografie (λl) & Numeriek diafragma (NA) in en klikt u op de knop Berekenen.