फोकसची खोली मूल्यांकनकर्ता फोकसची खोली, डेप्थ ऑफ फोकस हे एक गंभीर पॅरामीटर म्हणून परिभाषित केले आहे जे सेमीकंडक्टर वेफरच्या उंचीमधील फरकांच्या सहनशीलतेवर प्रभाव टाकते. ही फोकल प्लेनच्या समोर आणि मागे अंतरांची श्रेणी आहे जिथे वस्तू प्रतिमेमध्ये पुरेशी तीक्ष्ण दिसतात चे मूल्यमापन करण्यासाठी Depth of Focus = आनुपातिकता घटक*फोटोलिथोग्राफी मध्ये तरंगलांबी/(संख्यात्मक छिद्र^2) वापरतो. फोकसची खोली हे DOF चिन्हाने दर्शविले जाते.
हा ऑनलाइन मूल्यांकनकर्ता वापरून फोकसची खोली चे मूल्यमापन कसे करायचे? हा ऑनलाइन मूल्यांकनकर्ता फोकसची खोली साठी वापरण्यासाठी, आनुपातिकता घटक (k2), फोटोलिथोग्राफी मध्ये तरंगलांबी (λl) & संख्यात्मक छिद्र (NA) प्रविष्ट करा आणि गणना बटण दाबा.