गंभीर परिमाण मूल्यांकनकर्ता गंभीर परिमाण, क्रिटिकल डायमेंशन सर्वात लहान आकारमान किंवा वैशिष्ट्य आकाराचा संदर्भ देते जे सर्किटचे कार्यप्रदर्शन आणि कार्यक्षमता निर्धारित करते. फॅब्रिकेशन प्रक्रियेचे निराकरण आणि अचूकता परिभाषित करण्यासाठी हे महत्त्वपूर्ण आहे चे मूल्यमापन करण्यासाठी Critical Dimension = प्रक्रिया अवलंबित स्थिरांक*फोटोलिथोग्राफी मध्ये तरंगलांबी/संख्यात्मक छिद्र वापरतो. गंभीर परिमाण हे CD चिन्हाने दर्शविले जाते.
हा ऑनलाइन मूल्यांकनकर्ता वापरून गंभीर परिमाण चे मूल्यमापन कसे करायचे? हा ऑनलाइन मूल्यांकनकर्ता गंभीर परिमाण साठी वापरण्यासाठी, प्रक्रिया अवलंबित स्थिरांक (k1), फोटोलिथोग्राफी मध्ये तरंगलांबी (λl) & संख्यात्मक छिद्र (NA) प्रविष्ट करा आणि गणना बटण दाबा.