फोकस की गहराई फॉर्मूला

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फोकस की गहराई एक महत्वपूर्ण पैरामीटर है जो अर्धचालक वेफर की ऊंचाई में बदलाव के प्रति सहनशीलता को प्रभावित करता है। FAQs जांचें
DOF=k2λlNA2
DOF - फोकस की गहराई?k2 - आनुपातिकता कारक?λl - फोटोलिथोग्राफी में तरंग दैर्ध्य?NA - संख्यात्मक छिद्र?

फोकस की गहराई उदाहरण

मूल्यों के साथ
इकाइयों के साथ
केवल उदाहरण

फोकस की गहराई समीकरण मूल्यों के साथ जैसा दिखता है।

फोकस की गहराई समीकरण इकाइयों के साथ जैसा दिखता है।

फोकस की गहराई समीकरण जैसा दिखता है।

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फोकस की गहराई समाधान

फोकस की गहराई की गणना कैसे करें, इसके लिए हमारे चरण-दर-चरण समाधान का पालन करें।

पहला कदम सूत्र पर विचार करें
DOF=k2λlNA2
अगला कदम चरों के प्रतिस्थापन मान
DOF=3223nm0.7172
अगला कदम इकाइयों को परिवर्तित करें
DOF=32.2E-7m0.7172
अगला कदम मूल्यांकन के लिए तैयार रहें
DOF=32.2E-70.7172
अगला कदम मूल्यांकन करना
DOF=1.30133109247621E-06m
अगला कदम आउटपुट की इकाई में परिवर्तित करें
DOF=1.30133109247621μm
अंतिम चरण उत्तर को गोल करना
DOF=1.3013μm

फोकस की गहराई FORMULA तत्वों

चर
फोकस की गहराई
फोकस की गहराई एक महत्वपूर्ण पैरामीटर है जो अर्धचालक वेफर की ऊंचाई में बदलाव के प्रति सहनशीलता को प्रभावित करता है।
प्रतीक: DOF
माप: वेवलेंथइकाई: μm
टिप्पणी: मान 0 से अधिक होना चाहिए.
आनुपातिकता कारक
आनुपातिकता कारक एक स्थिरांक है जो दो प्रमुख मापदंडों से संबंधित है: महत्वपूर्ण आयाम (सीडी) और एक्सपोज़र खुराक।
प्रतीक: k2
माप: NAइकाई: Unitless
टिप्पणी: मान 0 से अधिक होना चाहिए.
फोटोलिथोग्राफी में तरंग दैर्ध्य
फोटोलिथोग्राफी में तरंग दैर्ध्य अर्धचालक निर्माण प्रक्रिया के दौरान पैटर्न अर्धचालक वेफर्स के लिए नियोजित विद्युत चुम्बकीय विकिरण की विशिष्ट श्रेणी को संदर्भित करता है।
प्रतीक: λl
माप: वेवलेंथइकाई: nm
टिप्पणी: मान 0 से अधिक होना चाहिए.
संख्यात्मक छिद्र
ऑप्टिकल सिस्टम का संख्यात्मक एपर्चर एक ऑप्टिकल सिस्टम की क्षमता का वर्णन करने के लिए प्रकाशिकी में उपयोग किया जाने वाला एक पैरामीटर है। सेमीकंडक्टर निर्माण और फोटोलिथोग्राफी के संदर्भ में।
प्रतीक: NA
माप: NAइकाई: Unitless
टिप्पणी: मान 0 से अधिक होना चाहिए.

एमओएस आईसी निर्माण श्रेणी में अन्य सूत्र

​जाना MOSFET में शारीरिक प्रभाव
Vt=Vth+γ(2Φf+Vbs-2Φf)
​जाना MOSFET एकता-लाभ आवृत्ति
ft=gmCgs+Cgd
​जाना संतृप्ति क्षेत्र में MOSFET का ड्रेन करंट
Id=β2(Vgs-Vth)2(1+λiVds)
​जाना चैनल प्रतिरोध
Rch=LtWt1μnQon

फोकस की गहराई का मूल्यांकन कैसे करें?

फोकस की गहराई मूल्यांकनकर्ता फोकस की गहराई, फोकस की गहराई को एक महत्वपूर्ण पैरामीटर के रूप में परिभाषित किया गया है जो सेमीकंडक्टर वेफर की ऊंचाई में भिन्नता के प्रति सहनशीलता को प्रभावित करता है। यह फोकल प्लेन के आगे और पीछे की दूरी की सीमा है जहां वस्तुएं एक छवि में पर्याप्त रूप से तेज दिखाई देती हैं। का मूल्यांकन करने के लिए Depth of Focus = आनुपातिकता कारक*फोटोलिथोग्राफी में तरंग दैर्ध्य/(संख्यात्मक छिद्र^2) का उपयोग करता है। फोकस की गहराई को DOF प्रतीक द्वारा दर्शाया जाता है।

इस ऑनलाइन मूल्यांकनकर्ता का उपयोग करके फोकस की गहराई का मूल्यांकन कैसे करें? फोकस की गहराई के लिए इस ऑनलाइन मूल्यांकनकर्ता का उपयोग करने के लिए, आनुपातिकता कारक (k2), फोटोलिथोग्राफी में तरंग दैर्ध्य l) & संख्यात्मक छिद्र (NA) दर्ज करें और गणना बटन दबाएं।

FAQs पर फोकस की गहराई

फोकस की गहराई ज्ञात करने का सूत्र क्या है?
फोकस की गहराई का सूत्र Depth of Focus = आनुपातिकता कारक*फोटोलिथोग्राफी में तरंग दैर्ध्य/(संख्यात्मक छिद्र^2) के रूप में व्यक्त किया जाता है। यहाँ एक उदाहरण दिया गया है- 1.3E+12 = 3*2.23E-07/(0.717^2).
फोकस की गहराई की गणना कैसे करें?
आनुपातिकता कारक (k2), फोटोलिथोग्राफी में तरंग दैर्ध्य l) & संख्यात्मक छिद्र (NA) के साथ हम फोकस की गहराई को सूत्र - Depth of Focus = आनुपातिकता कारक*फोटोलिथोग्राफी में तरंग दैर्ध्य/(संख्यात्मक छिद्र^2) का उपयोग करके पा सकते हैं।
क्या फोकस की गहराई ऋणात्मक हो सकता है?
{हां या नहीं}, वेवलेंथ में मापा गया फोकस की गहराई ऋणात्मक {हो सकता है या नहीं हो सकता}।
फोकस की गहराई को मापने के लिए किस इकाई का उपयोग किया जाता है?
फोकस की गहराई को आम तौर पर वेवलेंथ के लिए माइक्रोमीटर[μm] का उपयोग करके मापा जाता है। मीटर[μm], मेगामीटर[μm], किलोमीटर[μm] कुछ अन्य इकाइयाँ हैं जिनमें फोकस की गहराई को मापा जा सकता है।
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