Formule Profondeur de mise au point

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La profondeur de focalisation est un paramètre critique qui influence la tolérance aux variations de hauteur de la plaquette semi-conductrice. Vérifiez FAQs
DOF=k2λlNA2
DOF - Profondeur de mise au point?k2 - Facteur de proportionnalité?λl - Longueur d'onde en photolithographie?NA - Ouverture numérique?

Exemple Profondeur de mise au point

Avec des valeurs
Avec unités
Seul exemple

Voici à quoi ressemble l'équation Profondeur de mise au point avec des valeurs.

Voici à quoi ressemble l'équation Profondeur de mise au point avec unités.

Voici à quoi ressemble l'équation Profondeur de mise au point.

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Profondeur de mise au point Solution

Suivez notre solution étape par étape pour savoir comment calculer Profondeur de mise au point ?

Premier pas Considérez la formule
DOF=k2λlNA2
L'étape suivante Valeurs de remplacement des variables
DOF=3223nm0.7172
L'étape suivante Convertir des unités
DOF=32.2E-7m0.7172
L'étape suivante Préparez-vous à évaluer
DOF=32.2E-70.7172
L'étape suivante Évaluer
DOF=1.30133109247621E-06m
L'étape suivante Convertir en unité de sortie
DOF=1.30133109247621μm
Dernière étape Réponse arrondie
DOF=1.3013μm

Profondeur de mise au point Formule Éléments

Variables
Profondeur de mise au point
La profondeur de focalisation est un paramètre critique qui influence la tolérance aux variations de hauteur de la plaquette semi-conductrice.
Symbole: DOF
La mesure: Longueur d'ondeUnité: μm
Note: La valeur doit être supérieure à 0.
Facteur de proportionnalité
Le facteur de proportionnalité est une constante qui relie deux paramètres clés : la dimension critique (CD) et la dose d'exposition.
Symbole: k2
La mesure: NAUnité: Unitless
Note: La valeur doit être supérieure à 0.
Longueur d'onde en photolithographie
La longueur d'onde en photolithographie fait référence à la plage spécifique de rayonnement électromagnétique utilisée pour modeler les tranches semi-conductrices pendant le processus de fabrication des semi-conducteurs.
Symbole: λl
La mesure: Longueur d'ondeUnité: nm
Note: La valeur doit être supérieure à 0.
Ouverture numérique
L'ouverture numérique d'un système optique est un paramètre utilisé en optique pour décrire la capacité d'un système optique. Dans le contexte de la fabrication de semi-conducteurs et de la photolithographie.
Symbole: NA
La mesure: NAUnité: Unitless
Note: La valeur doit être supérieure à 0.

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Comment évaluer Profondeur de mise au point ?

L'évaluateur Profondeur de mise au point utilise Depth of Focus = Facteur de proportionnalité*Longueur d'onde en photolithographie/(Ouverture numérique^2) pour évaluer Profondeur de mise au point, La profondeur de focalisation est définie comme un paramètre critique qui influence la tolérance aux variations de hauteur de la plaquette semi-conductrice. Il s'agit de la plage de distances devant et derrière le plan focal à laquelle les objets apparaissent suffisamment nets dans une image. Profondeur de mise au point est désigné par le symbole DOF.

Comment évaluer Profondeur de mise au point à l'aide de cet évaluateur en ligne ? Pour utiliser cet évaluateur en ligne pour Profondeur de mise au point, saisissez Facteur de proportionnalité (k2), Longueur d'onde en photolithographie l) & Ouverture numérique (NA) et appuyez sur le bouton Calculer.

FAQs sur Profondeur de mise au point

Quelle est la formule pour trouver Profondeur de mise au point ?
La formule de Profondeur de mise au point est exprimée sous la forme Depth of Focus = Facteur de proportionnalité*Longueur d'onde en photolithographie/(Ouverture numérique^2). Voici un exemple : 1.3E+12 = 3*2.23E-07/(0.717^2).
Comment calculer Profondeur de mise au point ?
Avec Facteur de proportionnalité (k2), Longueur d'onde en photolithographie l) & Ouverture numérique (NA), nous pouvons trouver Profondeur de mise au point en utilisant la formule - Depth of Focus = Facteur de proportionnalité*Longueur d'onde en photolithographie/(Ouverture numérique^2).
Le Profondeur de mise au point peut-il être négatif ?
Non, le Profondeur de mise au point, mesuré dans Longueur d'onde ne peut pas, doit être négatif.
Quelle unité est utilisée pour mesurer Profondeur de mise au point ?
Profondeur de mise au point est généralement mesuré à l'aide de Micromètre[μm] pour Longueur d'onde. Mètre[μm], Mégamètre[μm], Kilomètre[μm] sont les quelques autres unités dans lesquelles Profondeur de mise au point peut être mesuré.
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