L'évaluateur Profondeur de mise au point utilise Depth of Focus = Facteur de proportionnalité*Longueur d'onde en photolithographie/(Ouverture numérique^2) pour évaluer Profondeur de mise au point, La profondeur de focalisation est définie comme un paramètre critique qui influence la tolérance aux variations de hauteur de la plaquette semi-conductrice. Il s'agit de la plage de distances devant et derrière le plan focal à laquelle les objets apparaissent suffisamment nets dans une image. Profondeur de mise au point est désigné par le symbole DOF.
Comment évaluer Profondeur de mise au point à l'aide de cet évaluateur en ligne ? Pour utiliser cet évaluateur en ligne pour Profondeur de mise au point, saisissez Facteur de proportionnalité (k2), Longueur d'onde en photolithographie (λl) & Ouverture numérique (NA) et appuyez sur le bouton Calculer.