El evaluador de Dimensión crítica usa Critical Dimension = Constante dependiente del proceso*Longitud de onda en fotolitografía/Apertura numérica para evaluar Dimensión crítica, La dimensión crítica se refiere a la dimensión más pequeña o tamaño de característica que determina el rendimiento y la funcionalidad del circuito. Es crucial para definir la resolución y precisión del proceso de fabricación. Dimensión crítica se indica mediante el símbolo CD.
¿Cómo evaluar Dimensión crítica usando este evaluador en línea? Para utilizar este evaluador en línea para Dimensión crítica, ingrese Constante dependiente del proceso (k1), Longitud de onda en fotolitografía (λl) & Apertura numérica (NA) y presione el botón calcular.