Der Schichtwiderstand der Schicht-Evaluator verwendet Sheet Resistance = 1/(Aufladung*Elektronendotierte Siliziummobilität*Gleichgewichtskonzentration des N-Typs*Dicke der Schicht), um Schichtwiderstand, Die Formel für den Schichtwiderstand von Schichten wird von Faktoren wie dem spezifischen Widerstand des Materials, seiner Dicke und der Fläche, durch die der Strom fließt, beeinflusst. Bei der Halbleiterverarbeitung ist es wichtig, den Schichtwiderstand zu kontrollieren und zu optimieren, um die gewünschten elektrischen Eigenschaften in verschiedenen Schichten der Halbleiterbauelemente zu erreichen, wie etwa den Metallverbindungsschichten oder Polysilizium-Gates in Transistoren auszuwerten. Schichtwiderstand wird durch das Symbol Rs gekennzeichnet.
Wie wird Schichtwiderstand der Schicht mit diesem Online-Evaluator ausgewertet? Um diesen Online-Evaluator für Schichtwiderstand der Schicht zu verwenden, geben Sie Aufladung (q), Elektronendotierte Siliziummobilität (μn), Gleichgewichtskonzentration des N-Typs (Nd) & Dicke der Schicht (t) ein und klicken Sie auf die Schaltfläche „Berechnen“.