Оценщик Критическое измерение использует Critical Dimension = Зависимая от процесса константа*Длина волны в фотолитографии/Числовая апертура для оценки Критическое измерение, Критический размер относится к наименьшему размеру или размеру элемента, который определяет производительность и функциональность схемы. Это имеет решающее значение для определения разрешения и точности производственного процесса. Критическое измерение обозначается символом CD.
Как оценить Критическое измерение с помощью этого онлайн-оценщика? Чтобы использовать этот онлайн-оценщик для Критическое измерение, введите Зависимая от процесса константа (k1), Длина волны в фотолитографии (λl) & Числовая апертура (NA) и нажмите кнопку расчета.