Глубина фокуса Формула

Fx Копировать
LaTeX Копировать
Глубина фокуса — критический параметр, влияющий на устойчивость к изменениям высоты полупроводниковой пластины. Проверьте FAQs
DOF=k2λlNA2
DOF - Глубина фокуса?k2 - Коэффициент пропорциональности?λl - Длина волны в фотолитографии?NA - Числовая апертура?

Пример Глубина фокуса

С ценностями
С единицами
Только пример

Вот как уравнение Глубина фокуса выглядит как с ценностями.

Вот как уравнение Глубина фокуса выглядит как с единицами.

Вот как уравнение Глубина фокуса выглядит как.

1.3013Edit=3Edit223Edit0.717Edit2
Копировать
Сброс
Делиться
Вы здесь -
HomeIcon Дом » Category Инженерное дело » Category Электроника » Category Интегральные схемы (ИС) » fx Глубина фокуса

Глубина фокуса Решение

Следуйте нашему пошаговому решению о том, как рассчитать Глубина фокуса?

Первый шаг Рассмотрим формулу
DOF=k2λlNA2
Следующий шаг Заменить значения переменных
DOF=3223nm0.7172
Следующий шаг Конвертировать единицы
DOF=32.2E-7m0.7172
Следующий шаг Подготовьтесь к оценке
DOF=32.2E-70.7172
Следующий шаг Оценивать
DOF=1.30133109247621E-06m
Следующий шаг Преобразовать в единицу вывода
DOF=1.30133109247621μm
Последний шаг Округление ответа
DOF=1.3013μm

Глубина фокуса Формула Элементы

Переменные
Глубина фокуса
Глубина фокуса — критический параметр, влияющий на устойчивость к изменениям высоты полупроводниковой пластины.
Символ: DOF
Измерение: Длина волныЕдиница: μm
Примечание: Значение должно быть больше 0.
Коэффициент пропорциональности
Коэффициент пропорциональности — это константа, которая связывает два ключевых параметра: критический размер (CD) и экспозиционную дозу.
Символ: k2
Измерение: NAЕдиница: Unitless
Примечание: Значение должно быть больше 0.
Длина волны в фотолитографии
Длина волны в фотолитографии относится к определенному диапазону электромагнитного излучения, используемого для формирования рисунка на полупроводниковых пластинах в процессе производства полупроводников.
Символ: λl
Измерение: Длина волныЕдиница: nm
Примечание: Значение должно быть больше 0.
Числовая апертура
Числовая апертура оптической системы — это параметр, используемый в оптике для описания возможностей оптической системы. В контексте производства полупроводников и фотолитографии.
Символ: NA
Измерение: NAЕдиница: Unitless
Примечание: Значение должно быть больше 0.

Другие формулы в категории Изготовление МОП-ИС

​Идти Эффект тела в MOSFET
Vt=Vth+γ(2Φf+Vbs-2Φf)
​Идти Частота MOSFET с единичным коэффициентом усиления
ft=gmCgs+Cgd
​Идти Ток стока MOSFET в области насыщения
Id=β2(Vgs-Vth)2(1+λiVds)
​Идти Сопротивление канала
Rch=LtWt1μnQon

Как оценить Глубина фокуса?

Оценщик Глубина фокуса использует Depth of Focus = Коэффициент пропорциональности*Длина волны в фотолитографии/(Числовая апертура^2) для оценки Глубина фокуса, Глубина резкости определяется как критический параметр, влияющий на устойчивость к изменениям высоты полупроводниковой пластины. Это диапазон расстояний перед и за фокальной плоскостью, при котором объекты на изображении кажутся достаточно резкими. Глубина фокуса обозначается символом DOF.

Как оценить Глубина фокуса с помощью этого онлайн-оценщика? Чтобы использовать этот онлайн-оценщик для Глубина фокуса, введите Коэффициент пропорциональности (k2), Длина волны в фотолитографии l) & Числовая апертура (NA) и нажмите кнопку расчета.

FAQs на Глубина фокуса

По какой формуле можно найти Глубина фокуса?
Формула Глубина фокуса выражается как Depth of Focus = Коэффициент пропорциональности*Длина волны в фотолитографии/(Числовая апертура^2). Вот пример: 1.3E+12 = 3*2.23E-07/(0.717^2).
Как рассчитать Глубина фокуса?
С помощью Коэффициент пропорциональности (k2), Длина волны в фотолитографии l) & Числовая апертура (NA) мы можем найти Глубина фокуса, используя формулу - Depth of Focus = Коэффициент пропорциональности*Длина волны в фотолитографии/(Числовая апертура^2).
Может ли Глубина фокуса быть отрицательным?
Нет, Глубина фокуса, измеренная в Длина волны не могу, будет отрицательной.
Какая единица измерения используется для измерения Глубина фокуса?
Глубина фокуса обычно измеряется с использованием микрометр[μm] для Длина волны. метр[μm], Мегаметр[μm], километр[μm] — это несколько других единиц, в которых можно измерить Глубина фокуса.
Copied!