Оценщик Глубина фокуса использует Depth of Focus = Коэффициент пропорциональности*Длина волны в фотолитографии/(Числовая апертура^2) для оценки Глубина фокуса, Глубина резкости определяется как критический параметр, влияющий на устойчивость к изменениям высоты полупроводниковой пластины. Это диапазон расстояний перед и за фокальной плоскостью, при котором объекты на изображении кажутся достаточно резкими. Глубина фокуса обозначается символом DOF.
Как оценить Глубина фокуса с помощью этого онлайн-оценщика? Чтобы использовать этот онлайн-оценщик для Глубина фокуса, введите Коэффициент пропорциональности (k2), Длина волны в фотолитографии (λl) & Числовая апертура (NA) и нажмите кнопку расчета.