Толщина оксида относится к толщине тонкого слоя оксидного материала, который формируется на поверхности подложки, обычно полупроводникового материала, такого как кремний. И обозначается tox. Толщина оксида обычно измеряется с использованием микрометр для Длина. Обратите внимание, что значение Толщина оксида всегда равно отрицательный.