Паразитная емкость источника обычно измеряется с использованием Микрофарад на квадратный миллиметр[μF/mm²] для Оксидная емкость на единицу площади. Фарада на квадратный метр[μF/mm²], Нанофарад на квадратный сантиметр[μF/mm²], Микрофарад на квадратный сантиметр[μF/mm²] — это несколько других единиц, в которых можно измерить Паразитная емкость источника.