Концентрация доноров после полного масштабирования может подразумевать рассмотрение того, как на концентрацию донорных примесей влияет уменьшение размеров транзистора. И обозначается ND'. Концентрация доноров после полного масштабирования обычно измеряется с использованием 1 на кубический сантиметр для Концентрация носителя. Обратите внимание, что значение Концентрация доноров после полного масштабирования всегда равно позитивный.