Заряд инверсионного слоя обычно измеряется с использованием Кулон на квадратный метр[C/m²] для Плотность поверхностного заряда. Кулон на квадратный сантиметр[C/m²], Кулон на квадратный дюйм[C/m²], Абкулон на квадратный метр[C/m²] — это несколько других единиц, в которых можно измерить Заряд инверсионного слоя.