Глубина соединения после полного масштабирования в Изготовление СБИС Формулы

Глубина перехода после полного масштабирования определяется как расстояние от поверхности до точки, в которой происходит изменение концентрации атомов примеси после полного масштабирования. И обозначается x_j'. Глубина соединения после полного масштабирования обычно измеряется с использованием микрометр для Длина. Обратите внимание, что значение Глубина соединения после полного масштабирования всегда равно позитивный.