Espessura do óxido de porta após escala completa em Fabricação VLSI Fórmulas

A espessura do óxido da porta após escala completa é definida como a nova espessura da camada de óxido após a redução das dimensões do transistor, mantendo o campo elétrico constante. E é denotado por t_ox'. Espessura do óxido de porta após escala completa geralmente é medido usando Nanômetro para Comprimento. Observe que o valor de Espessura do óxido de porta após escala completa é sempre positivo.