A espessura do óxido refere-se à espessura de uma fina camada de material de óxido que é formada na superfície de um substrato, normalmente um material semicondutor como o silício. E é denotado por tox. Espessura De Óxido geralmente é medido usando Micrômetro para Comprimento. Observe que o valor de Espessura De Óxido é sempre negativo.