Capacitância entre Junção do Corpo e Fonte geralmente é medido usando Microfarad por Milímetro Quadrado[μF/mm²] para Capacitância de óxido por unidade de área. Farad por metro quadrado[μF/mm²], Nanofarad por centímetro quadrado[μF/mm²], Microfarad por centímetro quadrado[μF/mm²] são as poucas outras unidades nas quais Capacitância entre Junção do Corpo e Fonte pode ser medido.