Capacitância de Óxido por Unidade de Área geralmente é medido usando Microfarad por centímetro quadrado[μF/cm²] para Capacitância de óxido por unidade de área. Farad por metro quadrado[μF/cm²], Nanofarad por centímetro quadrado[μF/cm²], Microfarad por Milímetro Quadrado[μF/cm²] são as poucas outras unidades nas quais Capacitância de Óxido por Unidade de Área pode ser medido.