Capacitância de óxido refere-se à capacitância associada à camada isolante de óxido em uma estrutura de metal-óxido-semicondutor (MOS), como em MOSFETs. E é denotado por Cox. Capacitância de Óxido geralmente é medido usando Farad para Capacitância. Observe que o valor de Capacitância de Óxido é sempre positivo.