Capacitância de Óxido geralmente é medido usando Farad por metro quadrado[F/m²] para Capacitância de óxido por unidade de área. Nanofarad por centímetro quadrado[F/m²], Microfarad por centímetro quadrado[F/m²], Microfarad por Milímetro Quadrado[F/m²] são as poucas outras unidades nas quais Capacitância de Óxido pode ser medido.