Capacitância de óxido após escala de tensão em Fabricação VLSI Fórmulas

A capacitância de óxido após a escala de tensão refere-se à capacitância associada à camada de óxido entre a porta de metal e o substrato depois que o dispositivo é reduzido pela escala de tensão. E é denotado por C_ox(vs)'. Capacitância de óxido após escala de tensão geralmente é medido usando Nanofarad por centímetro quadrado para Capacitância de óxido por unidade de área. Observe que o valor de Capacitância de óxido após escala de tensão é sempre positivo.