Stężenie dawcy po pełnym skalowaniu może wiązać się z rozważeniem, w jaki sposób zmniejszenie wymiarów tranzystora wpływa na stężenie zanieczyszczeń dawcy. I jest oznaczony przez ND'. Stężenie dawcy po pełnym skalowaniu jest zwykle mierzona przy użyciu 1 na centymetr sześcienny dla Koncentracja nośników. Należy pamiętać, że wartość Stężenie dawcy po pełnym skalowaniu to zawsze pozytywny.