Wartość Przenikalność warstwy tlenkowej jest zwykle mierzona przy użyciu zmiennej Mikrofarad na milimetr[μF/mm] dla wartości przenikalność. Farad na metr[μF/mm], Mikrofarad na metr[μF/mm] to kilka innych jednostek, w których można mierzyć Przenikalność warstwy tlenkowej.