Wartość Pojemność warstwy tlenku bramki jest zwykle mierzona przy użyciu zmiennej Mikrofarad na milimetr kwadratowy[μF/mm²] dla wartości Pojemność tlenkowa na jednostkę powierzchni. Farad na metr kwadratowy[μF/mm²], Nanofarad na centymetr kwadratowy[μF/mm²], Mikrofarad na centymetr kwadratowy[μF/mm²] to kilka innych jednostek, w których można mierzyć Pojemność warstwy tlenku bramki.