Wartość Pojemność tlenkowa jest zwykle mierzona przy użyciu zmiennej Farad na metr kwadratowy[F/m²] dla wartości Pojemność tlenkowa na jednostkę powierzchni. Nanofarad na centymetr kwadratowy[F/m²], Mikrofarad na centymetr kwadratowy[F/m²], Mikrofarad na milimetr kwadratowy[F/m²] to kilka innych jednostek, w których można mierzyć Pojemność tlenkowa.