Wartość Pojemność tlenkowa po skalowaniu napięcia jest zwykle mierzona przy użyciu zmiennej Nanofarad na centymetr kwadratowy[nF/cm²] dla wartości Pojemność tlenkowa na jednostkę powierzchni. Farad na metr kwadratowy[nF/cm²], Mikrofarad na centymetr kwadratowy[nF/cm²], Mikrofarad na milimetr kwadratowy[nF/cm²] to kilka innych jednostek, w których można mierzyć Pojemność tlenkowa po skalowaniu napięcia.