Wartość Pojemność tlenkowa po pełnym skalowaniu jest zwykle mierzona przy użyciu zmiennej Mikrofarad na centymetr kwadratowy[μF/cm²] dla wartości Pojemność tlenkowa na jednostkę powierzchni. Farad na metr kwadratowy[μF/cm²], Nanofarad na centymetr kwadratowy[μF/cm²], Mikrofarad na milimetr kwadratowy[μF/cm²] to kilka innych jednostek, w których można mierzyć Pojemność tlenkowa po pełnym skalowaniu.