Pojemność podłoża, znana również jako pasożytnicza pojemność podłoża, odnosi się do pojemności istniejącej pomiędzy elementami przewodzącymi w układzie scalonym. I jest oznaczony przez Cs. Pojemność podłoża jest zwykle mierzona przy użyciu Farad dla Pojemność. Należy pamiętać, że wartość Pojemność podłoża to zawsze negatywny.