Wartość Opłata warstwy inwersyjnej jest zwykle mierzona przy użyciu zmiennej Kulomb na metr kwadratowy[C/m²] dla wartości Gęstość ładunku powierzchniowego. Kulomb na centymetr kwadratowy[C/m²], Kulomb na cal kwadratowy[C/m²], Abkulomb na metr kwadratowy[C/m²] to kilka innych jednostek, w których można mierzyć Opłata warstwy inwersyjnej.