Wartość Obszar dyfuzji źródła jest zwykle mierzona przy użyciu zmiennej Milimetr Kwadratowy[mm²] dla wartości Obszar. Metr Kwadratowy[mm²], Kilometr Kwadratowy[mm²], Centymetr Kwadratowy[mm²] to kilka innych jednostek, w których można mierzyć Obszar dyfuzji źródła.