Maksymalne stężenie domieszki opisuje, jak stężenie atomów domieszki w materiale półprzewodnikowym maleje wykładniczo wraz ze wzrostem temperatury. I jest oznaczony przez Cs. Maksymalne stężenie domieszki jest zwykle mierzona przy użyciu Elektrony na centymetr sześcienny dla Gęstość elektronów. Należy pamiętać, że wartość Maksymalne stężenie domieszki to zawsze negatywny.