Grubość tlenku odnosi się do grubości cienkiej warstwy materiału tlenkowego utworzonego na powierzchni podłoża, zwykle materiału półprzewodnikowego, takiego jak krzem. I jest oznaczony przez tox. Grubość tlenku jest zwykle mierzona przy użyciu Mikrometr dla Długość. Należy pamiętać, że wartość Grubość tlenku to zawsze negatywny.