Głębokość wyczerpania złącza Pn ze źródłem w Produkcja VLSI Formuły

Głębokość wyczerpania złącza Pn ze źródłem definiuje się jako obszar wokół złącza pn, w którym nośniki ładunku zostały wyczerpane w wyniku tworzenia się pola elektrycznego. I jest oznaczony przez x_dS. Głębokość wyczerpania złącza Pn ze źródłem jest zwykle mierzona przy użyciu Mikrometr dla Długość. Należy pamiętać, że wartość Głębokość wyczerpania złącza Pn ze źródłem to zawsze pozytywny.