Głębokość połączenia po pełnym skalowaniu w Produkcja VLSI Formuły

Głębokość złącza po pełnym skalowaniu definiuje się jako odległość od powierzchni do punktu, w którym po pełnym skalowaniu następuje zmiana stężenia atomów domieszki. I jest oznaczony przez x_j'. Głębokość połączenia po pełnym skalowaniu jest zwykle mierzona przy użyciu Mikrometr dla Długość. Należy pamiętać, że wartość Głębokość połączenia po pełnym skalowaniu to zawsze pozytywny.