Substraatcapaciteit, ook bekend als parasitaire substraatcapaciteit, verwijst naar de capaciteit die bestaat tussen geleidende elementen in een geïntegreerd circuit. En wordt aangegeven met Cs. Substraatcapaciteit wordt gewoonlijk gemeten met de Farad voor Capaciteit. Houd er rekening mee dat de waarde van Substraatcapaciteit altijd negatief is.