Oxidecapaciteit na spanningsschaling wordt meestal gemeten met de Nanofarad per vierkante centimeter[nF/cm²] voor Oxidecapaciteit per oppervlakte-eenheid. Farad per vierkante meter[nF/cm²], Microfarad per vierkante centimeter[nF/cm²], Microfarad per vierkante millimeter[nF/cm²] zijn de weinige andere eenheden waarin Oxidecapaciteit na spanningsschaling kan worden gemeten.