Oxidecapaciteit verwijst naar de capaciteit die is geassocieerd met de isolerende oxidelaag in een metaaloxide-halfgeleiderstructuur (MOS), zoals in MOSFET’s. En wordt aangegeven met Cox. Oxidecapaciteit wordt gewoonlijk gemeten met de Farad voor Capaciteit. Houd er rekening mee dat de waarde van Oxidecapaciteit altijd positief is.