Oxidecapaciteit is een belangrijke parameter die de prestaties van MOS-apparaten beïnvloedt, zoals de snelheid en het stroomverbruik van geïntegreerde schakelingen. En wordt aangegeven met Cox. Oxidecapaciteit wordt gewoonlijk gemeten met de Microfarad voor Capaciteit. Houd er rekening mee dat de waarde van Oxidecapaciteit altijd positief is.