Oxidedikte verwijst naar de dikte van een dunne laag oxidemateriaal die is gevormd op het oppervlak van een substraat, meestal een halfgeleidermateriaal zoals silicium. En wordt aangegeven met tox. Oxide Dikte wordt gewoonlijk gemeten met de Micrometer voor Lengte. Houd er rekening mee dat de waarde van Oxide Dikte altijd negatief is.