Oxide capaciteit wordt meestal gemeten met de Farad per vierkante meter[F/m²] voor Oxidecapaciteit per oppervlakte-eenheid. Nanofarad per vierkante centimeter[F/m²], Microfarad per vierkante centimeter[F/m²], Microfarad per vierkante millimeter[F/m²] zijn de weinige andere eenheden waarin Oxide capaciteit kan worden gemeten.