Oxidecapaciteit is een belangrijke parameter die de prestaties van MOS-apparaten beïnvloedt, zoals de snelheid en het stroomverbruik van geïntegreerde schakelingen. En wordt aangegeven met Cox. Oxide capaciteit wordt gewoonlijk gemeten met de Farad voor Capaciteit. Houd er rekening mee dat de waarde van Oxide capaciteit altijd negatief is.