Laterale omvang van het uitputtingsgebied met bron in VLSI-fabricage Formules

Laterale omvang van uitputtingsgebied met bron de horizontale afstand waarover het uitputtingsgebied zich zijdelings uitstrekt vanaf de bronterminal in een halfgeleiderapparaat. En wordt aangegeven met ΔL_s. Laterale omvang van het uitputtingsgebied met bron wordt gewoonlijk gemeten met de Micrometer voor Lengte. Houd er rekening mee dat de waarde van Laterale omvang van het uitputtingsgebied met bron altijd positief is.