व्हीएलएसआय फॅब्रिकेशन सूत्रे मध्ये स्त्रोत परजीवी क्षमता

नाही, स्त्रोत परजीवी क्षमता, ऑक्साइड कॅपेसिटन्स प्रति युनिट क्षेत्र मध्ये मोजलेले करू शकत नाही ऋण असू शकते.

स्त्रोत परजीवी क्षमता हे सहसा ऑक्साइड कॅपेसिटन्स प्रति युनिट क्षेत्र साठी मायक्रोफरॅड प्रति चौरस मिलिमीटर[μF/mm²] वापरून मोजले जाते. फराड प्रति चौरस मीटर[μF/mm²], नॅनोफरॅड प्रति चौरस सेंटीमीटर[μF/mm²], मायक्रोफरॅड प्रति चौरस सेंटीमीटर[μF/mm²] ही काही इतर एकके आहेत ज्यात स्त्रोत परजीवी क्षमता मोजले जाऊ शकतात.