शरीर आणि स्त्रोताच्या जंक्शनमधील क्षमता हे सहसा ऑक्साइड कॅपेसिटन्स प्रति युनिट क्षेत्र साठी मायक्रोफरॅड प्रति चौरस मिलिमीटर[μF/mm²] वापरून मोजले जाते. फराड प्रति चौरस मीटर[μF/mm²], नॅनोफरॅड प्रति चौरस सेंटीमीटर[μF/mm²], मायक्रोफरॅड प्रति चौरस सेंटीमीटर[μF/mm²] ही काही इतर एकके आहेत ज्यात शरीर आणि स्त्रोताच्या जंक्शनमधील क्षमता मोजले जाऊ शकतात.