व्होल्टेज स्केलिंग नंतर ऑक्साइड कॅपेसिटन्स हे सहसा ऑक्साइड कॅपेसिटन्स प्रति युनिट क्षेत्र साठी नॅनोफरॅड प्रति चौरस सेंटीमीटर[nF/cm²] वापरून मोजले जाते. फराड प्रति चौरस मीटर[nF/cm²], मायक्रोफरॅड प्रति चौरस सेंटीमीटर[nF/cm²], मायक्रोफरॅड प्रति चौरस मिलिमीटर[nF/cm²] ही काही इतर एकके आहेत ज्यात व्होल्टेज स्केलिंग नंतर ऑक्साइड कॅपेसिटन्स मोजले जाऊ शकतात.