व्हीएलएसआय फॅब्रिकेशन सूत्रे मध्ये पूर्ण स्केलिंग नंतर जंक्शन खोली

पूर्ण स्केलिंग नंतर जंक्शन डेप्थ हे पृष्ठभागापासून ते बिंदूपर्यंतचे अंतर म्हणून परिभाषित केले जाते जेथे पूर्ण स्केलिंगनंतर डोपंट अणूंच्या एकाग्रतेमध्ये बदल होतो. आणि x_j' द्वारे दर्शविले जाते. पूर्ण स्केलिंग नंतर जंक्शन खोली हे सहसा लांबी साठी मायक्रोमीटर वापरून मोजले जाते. लक्षात ठेवा की पूर्ण स्केलिंग नंतर जंक्शन खोली चे मूल्य नेहमी सकारात्मक असते.