पूर्ण स्केलिंग नंतर ऑक्साइड कॅपेसिटन्स हे सहसा ऑक्साइड कॅपेसिटन्स प्रति युनिट क्षेत्र साठी मायक्रोफरॅड प्रति चौरस सेंटीमीटर[μF/cm²] वापरून मोजले जाते. फराड प्रति चौरस मीटर[μF/cm²], नॅनोफरॅड प्रति चौरस सेंटीमीटर[μF/cm²], मायक्रोफरॅड प्रति चौरस मिलिमीटर[μF/cm²] ही काही इतर एकके आहेत ज्यात पूर्ण स्केलिंग नंतर ऑक्साइड कॅपेसिटन्स मोजले जाऊ शकतात.