ऑक्साइड कॅपेसिटन्स हे सहसा ऑक्साइड कॅपेसिटन्स प्रति युनिट क्षेत्र साठी फराड प्रति चौरस मीटर[F/m²] वापरून मोजले जाते. नॅनोफरॅड प्रति चौरस सेंटीमीटर[F/m²], मायक्रोफरॅड प्रति चौरस सेंटीमीटर[F/m²], मायक्रोफरॅड प्रति चौरस मिलिमीटर[F/m²] ही काही इतर एकके आहेत ज्यात ऑक्साइड कॅपेसिटन्स मोजले जाऊ शकतात.