ऑक्साइड कॅपेसिटन्स म्हणजे मेटल-ऑक्साइड-सेमीकंडक्टर (एमओएस) स्ट्रक्चरमधील इन्सुलेटिंग ऑक्साइड लेयरशी संबंधित कॅपेसिटन्स, जसे की MOSFETs मध्ये. आणि Cox द्वारे दर्शविले जाते. ऑक्साइड कॅपेसिटन्स हे सहसा क्षमता साठी फॅरड वापरून मोजले जाते. लक्षात ठेवा की ऑक्साइड कॅपेसिटन्स चे मूल्य नेहमी सकारात्मक असते.